武汉颐光ME-L 穆勒矩阵椭偏仪

一、产品介绍：

1、超宽的光谱范围：采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm

2、双旋转补偿器调制：高精度旋转与触发同步控制，实现高速光谱数据采集

3、全穆勒矩阵测量：基于双旋转补偿器配置，可一次获取穆勒矩阵的16个元素，相对于传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息

4、超级消色差补偿设计：专利补偿器技术，适应从深紫外到近红外宽光谱范围内高精度相位调制要求

5、丰富的材料数据库和算法模型：数百种材料数据库、多种算法模型库、涵盖了目前绝大部分的光学材料

6、向导式交互界面：软件向导交互式人机界面操作，为用户提供优质操作体验

7、纳米光栅分析能力：先进分析算法模型实现各种纳米光栅结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息提取



二、技术参数：